Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

Translated title of the contribution: Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

S. Viitamäki, T. Mäntylä, P. Kettunen

Research output: Book/Report › Commissioned report

Translated title of the contribution	Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella
Original language	Finnish
Place of Publication	Tampere
Number of pages	39
Publication status	Published - 1982
Publication type	D4 Published development or research report or study

Name	Tampereen taknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, raportti
No.	39

Publication forum classification

@book{a83f7cbec3f74c1d864dc4b2da3b138b,

title = "Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella",

author = "S. Viitam{\"a}ki and T. M{\"a}ntyl{\"a} and P. Kettunen",

note = "Contribution: organisation=mol,FACT1=1",

year = "1982",

language = "Suomi",

series = "Tampereen taknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, raportti",

number = "39",

}

TY - BOOK

T1 - Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

AU - Viitamäki, S.

AU - Mäntylä, T.

AU - Kettunen, P.

N1 - Contribution: organisation=mol,FACT1=1

PY - 1982

Y1 - 1982

M3 - Tutkimusraportti

T3 - Tampereen taknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, raportti

BT - Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

CY - Tampere

ER -