MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet

Translated title of the contribution: MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet

J. Wahlroos, P. Vuoristo, T. Mäntylä, P. Kettunen

    Research output: Book/ReportCommissioned reportProfessional

    Translated title of the contributionMHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet
    Original languageFinnish
    Place of PublicationTampere
    PublisherTampereen teknillinen korkeakoulu
    Publication statusPublished - 1986
    Publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    NameTampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, Raportti
    PublisherTampereen teknillinen korkeakoulu
    No.62/1986

    Publication forum classification

    • No publication forum level

    Cite this