MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet

Translated title of the contribution: MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet

J. Wahlroos, P. Vuoristo, T. Mäntylä, P. Kettunen

Research output: Book/Report › Commissioned report

Translated title of the contribution	MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet
Original language	Finnish
Place of Publication	Tampere
Publisher	Tampereen teknillinen korkeakoulu
Publication status	Published - 1986
Publication type	D4 Published development or research report or study

Name	Tampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, Raportti
Publisher	Tampereen teknillinen korkeakoulu
No.	62/1986

Publication forum classification

@book{4fad684dbbe241ca9370fdfd10beb97c,

title = "MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja s{\"a}hk{\"o}iset ominaisuudet",

author = "J. Wahlroos and P. Vuoristo and T. M{\"a}ntyl{\"a} and P. Kettunen",

note = "Contribution: organisation=mol,FACT1=1",

year = "1986",

language = "Suomi",

series = "Tampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, Raportti",

publisher = "Tampereen teknillinen korkeakoulu",

number = "62/1986",

}

TY - BOOK

T1 - MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet

AU - Wahlroos, J.

AU - Vuoristo, P.

AU - Mäntylä, T.

AU - Kettunen, P.

N1 - Contribution: organisation=mol,FACT1=1

PY - 1986

Y1 - 1986

M3 - Tutkimusraportti

T3 - Tampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, Raportti

BT - MHD-eristepinnoitteiden sputterointi ja sähköiset ominaisuudet

PB - Tampereen teknillinen korkeakoulu

CY - Tampere

ER -