Mikropiirien SEM-tarkastelut

A. Hynnä, P. Lintunen

    Research output: Book/ReportCommissioned report

    Translated title of the contributionMikropiirien SEM-tarkastelut
    Original languageEnglish
    Place of PublicationTampere
    PublisherTampereen teknillinen korkeakoulu
    Number of pages35
    Publication statusPublished - 1996
    Publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    NameTampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaalitekniikan osasto, Materiaaliopin laitos
    PublisherTampereen teknillinen korkeakoulu
    No.76B/96

    Publication forum classification

    • No publication forum level

    Cite this