Round Robin computer simulation of ejection probability in sputtering

P. Sigmund, M. T. Robinson, M. I. Baskes, M. Hautala, F. Z. Cui, W. Eckstein, Y. Yamamura, S. Hosaka, T. Ishitani, V. I. Shulga, D. E. Harrison, I. R. Chakarov, D. S. Karpuzo, E. Kawatoh, R. Shimizu, S. Valkealahti, R. M. Nieminen, G. Betz, W. Husinsky, M. H. ShapiroM. Vicanek, H. M. UrbassekShow 2 moreShow less