Sputter-deposition in microvias in build-up PWBs

T. Uusluoto; P. Jalonen; H. Laaksonen; A. Tuominen

Sputter-deposition in microvias in build-up PWBs

T. Uusluoto
, P. Jalonen
, H. Laaksonen
, A. Tuominen

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Scientific

Translated title of the contribution	Sputter-deposition in microvias in build-up PWBs
Original language	English
Title of host publication	Julkaisusarja A - Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikkö. Elektroniikan valmistus 2003, Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 22.-23.5.2003
Pages	129-134
Publication status	Published - 2003
Publication type	B3 Article in conference proceedings

Publication forum classification

No publication forum level

Cite this

@inproceedings{471862b6af064afa8d8a9ccb693b08cf,

title = "Sputter-deposition in microvias in build-up PWBs",

author = "T. Uusluoto and P. Jalonen and H. Laaksonen and A. Tuominen",

note = "ISBN:952-15-1022-6<br/>Contribution: organisation=pori etp,FACT1=1",

year = "2003",

language = "English",

pages = "129--134",

booktitle = "Julkaisusarja A - Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikk{\"o}. Elektroniikan valmistus 2003, Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 22.-23.5.2003",

}

Sputter-deposition in microvias in build-up PWBs. / Uusluoto, T.; Jalonen, P.; Laaksonen, H. et al.
Julkaisusarja A - Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikkö. Elektroniikan valmistus 2003, Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 22.-23.5.2003. 2003. p. 129-134.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Scientific

TY - GEN

T1 - Sputter-deposition in microvias in build-up PWBs

AU - Uusluoto, T.

AU - Jalonen, P.

AU - Laaksonen, H.

AU - Tuominen, A.

N1 - ISBN:952-15-1022-6<br/>Contribution: organisation=pori etp,FACT1=1

PY - 2003

Y1 - 2003

M3 - Conference contribution

SP - 129

EP - 134

BT - Julkaisusarja A - Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikkö. Elektroniikan valmistus 2003, Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 22.-23.5.2003

ER -