Sputteroitujen ohutkalvovastusten valmistaminen

J. Kujansuu; T. Laine-Ma; J. Määttänen

Sputteroitujen ohutkalvovastusten valmistaminen

Translated title of the contribution: Sputteroitujen ohutkalvovastusten valmistaminen

J. Kujansuu, T. Laine-Ma, J. Määttänen

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Scientific

Translated title of the contribution	Sputteroitujen ohutkalvovastusten valmistaminen
Original language	Finnish
Title of host publication	2005 Eltupak. Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 19.-20.5.2005. Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikkö, Julkaisu
Pages	228-231
Publication status	Published - 2005
Publication type	B3 Article in conference proceedings

Publication forum classification

No publication forum level

Cite this

@inproceedings{0e0a9b28d4104f269ac9e9f87489cac7,

title = "Sputteroitujen ohutkalvovastusten valmistaminen",

author = "J. Kujansuu and T. Laine-Ma and J. M{\"a}{\"a}tt{\"a}nen",

note = "ISBN 952-15-1362-4 ISSN 1795-2166<br/>Contribution: organisation=pori etp,FACT1=1",

year = "2005",

language = "Suomi",

isbn = "952-15-1362-4",

pages = "228--231",

booktitle = "2005 Eltupak. Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 19.-20.5.2005. Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikk{\"o}, Julkaisu",

}

TY - GEN

T1 - Sputteroitujen ohutkalvovastusten valmistaminen

AU - Kujansuu, J.

AU - Laine-Ma, T.

AU - Määttänen, J.

N1 - ISBN 952-15-1362-4 ISSN 1795-2166<br/>Contribution: organisation=pori etp,FACT1=1

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - Konferenssiartikkeli

SN - 952-15-1362-4

SP - 228

EP - 231

BT - 2005 Eltupak. Elektroniikan tuotanto- ja pakkaustekniikan konferenssi Porissa 19.-20.5.2005. Tampereen teknillinen yliopisto, Porin yksikkö, Julkaisu

ER -