Atomic composition of RF-sputtered alumina coatings determined by XPS method

  • Tapio Mäntylä (Speaker)

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso1982
    Tapahtuman otsikkoNCSS, 18-20.8., Tampere
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Suomi

    Publication forum classification

    • Ei tasoa