Continuous atomic layer deposition process (CALD)

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso2009
    Tapahtuman otsikkoTekes FinNano and Functional Materials Annual Seminar, May 27-28, 2009. Helsinki, Finland
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Suomi

    Publication forum classification

    • Ei tasoa