Deposition of Al2O3 by H20 & AlCl3-Reaction

  • Petri Vuoristo (Speaker)

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso1985
    Tapahtuman otsikkoProc. of the Fifth European Conference on Chemical Vapour Deposition, eds. J-O. Carlsson, J. Lindström, Uppsala University, Department of Chemistry
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Ruotsi

    Publication forum classification

    • Ei tasoa