Fast step bunching method for surface morphology simulations of anisotropic etching

  • Teemu Hynninen (Speaker)

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso2006
    Tapahtuman otsikkoPCWES, 21.6.2006, Saarbrucken, Germany
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Yhdysvallat (USA)

    Publication forum classification

    • Ei tasoa