HfO2 and HfNx diffusion barrier coatings by ALD

Minna Kotilainen (Speaker)

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso9 joulukuuta 2015
    PidettyMasaryk University, Tshekki

    Country of activity

    • Tšekki

    Nature of activity

    • Tutkimuksellinen