Novel method for chemical vapor deposition and atomic layer epitaxy using radical chemistry

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso1992
    Tapahtuman otsikko2nd international symposium on atomic layer epitaxy, June 2-5, 1992, Raleigh, North Carolina, USA
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Yhdysvallat (USA)

    Publication forum classification

    • Ei tasoa