Temperature mapping in thermal RF plasma CVD using laser Rayleigh scattering

  • Rolf Gustaf Runarsson Hernberg (Speaker)

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso1997
    Tapahtuman otsikkoProceedings of Optics Day 97, February 21, 1997, Physics Series Report, Tampere, Finland
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Suomi

    Publication forum classification

    • Ei tasoa