The effects of NH3 and SIH4 plasma treatments on alinp surfaces

    Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

    Aikajakso2004
    Tapahtuman otsikkoFifth Nordic Conference on Surface Science 22.-25.9.2004, Tampere
    Tapahtuman tyyppiConference

    Country of activity

    • Yhdysvallat (USA)

    Publication forum classification

    • Ei tasoa