Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Hakutulokset
-
2024
Optimizing Hafnium Oxide Thin-Film Dielectrics: Developing a Novel Atomic Layer Deposition Recipe
Forouzmehr, M., Tewari, A., Lahtonen, K., Lupo, D. & Berger, P. R., 2024, 2024 IEEE International Flexible Electronics Technology Conference (IFETC). IEEE, 4 SivumääräTutkimustuotos: Konferenssiartikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu