A maskless exposure device for rapid photolithographic prototyping of sensor and microstructure layouts

Julkaisun otsikon käännös: A maskless exposure device for rapid photolithographic prototyping of sensor and microstructure layouts

    Tutkimustuotos: KonferenssiartikkeliScientificvertaisarvioitu

    8 Sitaatiot (Scopus)
    Julkaisun otsikon käännösA maskless exposure device for rapid photolithographic prototyping of sensor and microstructure layouts
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoEurosensors XXIV. Conference Proceedings (preliminary CD-ROM issue), September 5-8, 2010, Linz, Austria
    ToimittajatBernhard Jakoby, Michael Vellekop
    Sivut1-4
    Sivumäärä4
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2010
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

    Julkaisufoorumi-taso

    • Ei tasoa

    Siteeraa tätä