Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

S. Viitamäki, T. Mäntylä, P. Kettunen

Tutkimustuotos: Tutkimusraportti

Julkaisun otsikon käännös	Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella
Alkuperäiskieli	Suomi
Julkaisupaikka	Tampere
Kustantaja	Unknown Publisher
Sivumäärä	39
Tila	Julkaistu - 1982
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Nimi	Tampereen taknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, raportti
Numero	39

Julkaisufoorumi-taso

@book{a83f7cbec3f74c1d864dc4b2da3b138b,

title = "Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella",

author = "S. Viitam{\"a}ki and T. M{\"a}ntyl{\"a} and P. Kettunen",

note = "Contribution: organisation=mol,FACT1=1",

year = "1982",

language = "Suomi",

series = "Tampereen taknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, raportti",

publisher = "Unknown Publisher",

number = "39",

}

TY - BOOK

T1 - Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

AU - Viitamäki, S.

AU - Mäntylä, T.

AU - Kettunen, P.

N1 - Contribution: organisation=mol,FACT1=1

PY - 1982

Y1 - 1982

M3 - Tutkimusraportti

T3 - Tampereen taknillinen korkeakoulu, Materiaaliopin laitos, raportti

BT - Alumiinioksidipinnoitteen muodostuminen kuparin pinnalle kemiallisella kaasufaasipinnoittamisella

PB - Unknown Publisher

CY - Tampere

ER -