Atomic-hydrogen mapping in hot-filament chemical-vapor deposition

Julkaisun otsikon käännös: Atomic-hydrogen mapping in hot-filament chemical-vapor deposition

Tutkimustuotos: Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

6 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Atomic-hydrogen mapping in hot-filament chemical-vapor deposition
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	765-769
Julkaisu	Applied Optics
Vuosikerta	40
Numero	6
Tila	Julkaistu - 2001
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

@article{8caec6abb25746c19309400e4cc5608f,

title = "Atomic-hydrogen mapping in hot-filament chemical-vapor deposition",

author = "J. Larjo and H. Koivikko and D. Li and R. Hernberg",

note = "Contribution: organisation=fys,FACT1=1",

year = "2001",

language = "English",

volume = "40",

pages = "765--769",

journal = "Applied Optics",

issn = "1559-128X",

publisher = "Optica Publishing Group",

number = "6",

}