Calibration improvement for piezoresistive coefficients of stress sensors on (100) silicon

Julkaisun otsikon käännös: Calibration improvement for piezoresistive coefficients of stress sensors on (100) silicon

Tutkimustuotos: Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

2 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Calibration improvement for piezoresistive coefficients of stress sensors on (100) silicon
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	205-208
Julkaisu	Physica Scripta
Vuosikerta	T114
Tila	Julkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

@article{0960e913b58f404b8cb41aa1cf2b893c,

title = "Calibration improvement for piezoresistive coefficients of stress sensors on (100) silicon",

author = "W. Song and E. Ristolainen",

note = "Contribution: organisation=ele,FACT1=1",

year = "2004",

language = "English",

volume = "T114",

pages = "205--208",

journal = "Physica Scripta",

issn = "0031-8949",

publisher = "Institute of Physics",

}