Doping impurity distribution and crystal quality evaluation of AlGaAs:Si films (0.22

Julkaisun otsikon käännös: Doping impurity distribution and crystal quality evaluation of AlGaAs:Si films (0.22

Tutkimustuotos: Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

Julkaisun otsikon käännös	Doping impurity distribution and crystal quality evaluation of AlGaAs:Si films (0.22
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	181-184
Julkaisu	Thin Solid Films
Numero	428
Tila	Julkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

@article{50360761b87141268424fefd3b2d4763,

title = "Doping impurity distribution and crystal quality evaluation of AlGaAs:Si films (0.22",

author = "Y. Fedorenko and T. Jouhti and J. Konttinen and J. Likonen and M. Pessa",

note = "Contribution: organisation=orc,FACT1=1<br/>Publisher name: Elsevier",

year = "2003",

language = "English",

pages = "181--184",

journal = "Thin Solid Films",

issn = "0040-6090",

publisher = "Elsevier B.V.",

number = "428",

}

TY - JOUR

T1 - Doping impurity distribution and crystal quality evaluation of AlGaAs:Si films (0.22

AU - Fedorenko, Y.

AU - Jouhti, T.

AU - Konttinen, J.

AU - Likonen, J.

AU - Pessa, M.

N1 - Contribution: organisation=orc,FACT1=1<br/>Publisher name: Elsevier

PY - 2003

Y1 - 2003

M3 - Article

SN - 0040-6090

SP - 181

EP - 184

JO - Thin Solid Films

JF - Thin Solid Films

IS - 428

ER -