Fabrication of nanoperforated silicon membranes with tunable sized high aspect ratio holes

Julkaisun otsikon käännös: Fabrication of nanoperforated silicon membranes with tunable sized high aspect ratio holes

L. Sainiemi, J. Viheriälä, J. Laukkanen, T. Niemi, S. Franssila

    Tutkimustuotos: KonferenssiartikkeliScientificvertaisarvioitu

    Julkaisun otsikon käännösFabrication of nanoperforated silicon membranes with tunable sized high aspect ratio holes
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoThe 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Denver, Colorado, USA, 21 - 25 June, 2009
    Sivut200-203
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

    Julkaisufoorumi-taso

    • Ei tasoa

    Siteeraa tätä