Improving the lifetime of the silicon nitride insulator layer in microelectrode arrays

Tomi Ryynänen; Antti Karttu; Timo Salpavaara; L Mäkinen; A-M Moilanen; Susanna Narkilahti; Pasi Kallio

Improving the lifetime of the silicon nitride insulator layer in microelectrode arrays

Tomi Ryynänen
, Antti Karttu
, Timo Salpavaara
, L Mäkinen
, A-M Moilanen
, Susanna Narkilahti
, Pasi Kallio

Tutkimustuotos: Muu konferenssimateriaali › Tieteellinen

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2022
OKM-julkaisutyyppi	Ei OKM-tyyppiä
Tapahtuma	12th International Conference on Microelectrode Arrays for Life Sciences - Tübingen, Saksa Kesto: 6 heinäk. 2022 → 8 heinäk. 2022

Conference

Conference	12th International Conference on Microelectrode Arrays for Life Sciences
Lyhennettä	MEA Meeting 2022
Maa/Alue	Saksa
Kaupunki	Tübingen
Ajanjakso	6/07/22 → 8/07/22

Siteeraa tätä

@conference{779058604c6b46cf985bb3b212344b4b,

title = "Improving the lifetime of the silicon nitride insulator layer in microelectrode arrays",

author = "Tomi Ryyn{\"a}nen and Antti Karttu and Timo Salpavaara and L M{\"a}kinen and A-M Moilanen and Susanna Narkilahti and Pasi Kallio",

year = "2022",

language = "English",

note = "12th International Conference on Microelectrode Arrays for Life Sciences , MEA Meeting 2022 ; Conference date: 06-07-2022 Through 08-07-2022",

}

TY - CONF

T1 - Improving the lifetime of the silicon nitride insulator layer in microelectrode arrays

AU - Ryynänen, Tomi

AU - Karttu, Antti

AU - Salpavaara, Timo

AU - Mäkinen, L

AU - Moilanen, A-M

AU - Narkilahti, Susanna

AU - Kallio, Pasi

PY - 2022

Y1 - 2022

M3 - Other conference contribution

T2 - 12th International Conference on Microelectrode Arrays for Life Sciences

Y2 - 6 July 2022 through 8 July 2022

ER -