Large-area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering

Julkaisun otsikon käännös: Large-area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering

J. Viheriälä, T. Niemi, J. Laukkanen, M. Karjalainen, M. Pessa

Tutkimustuotos: Artikkeli › Scientific › vertaisarvioitu

5 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Large-area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	1620 - 1622
Julkaisu	Microelectronic Engineering
Vuosikerta	87
Numero	5-8
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.10.033
Tila	Julkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

@article{fd7b717ac42048f5909af1d4c14408ef,

title = "Large-area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering",

author = "J. Viheri{\"a}l{\"a} and T. Niemi and J. Laukkanen and M. Karjalainen and M. Pessa",

note = "Contribution: organisation=orc,FACT1=1",

year = "2010",

doi = "10.1016/j.mee.2009.10.033",

language = "English",

volume = "87",

pages = "1620 -- 1622",

journal = "Microelectronic Engineering",

issn = "0167-9317",

publisher = "Elsevier",

number = "5-8",

}

TY - JOUR

T1 - Large-area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering

AU - Viheriälä, J.

AU - Niemi, T.

AU - Laukkanen, J.

AU - Karjalainen, M.

AU - Pessa, M.

N1 - Contribution: organisation=orc,FACT1=1

PY - 2010

Y1 - 2010

U2 - 10.1016/j.mee.2009.10.033

DO - 10.1016/j.mee.2009.10.033

M3 - Article

SN - 0167-9317

VL - 87

SP - 1620

EP - 1622

JO - Microelectronic Engineering

JF - Microelectronic Engineering

IS - 5-8

ER -