Mikropiirien SEM-tarkastelut

Julkaisun otsikon käännös: Mikropiirien SEM-tarkastelut

A. Hynnä, P. Lintunen

Tutkimustuotos: Tutkimusraportti

Julkaisun otsikon käännös	Mikropiirien SEM-tarkastelut
Alkuperäiskieli	Englanti
Julkaisupaikka	Tampere
Kustantaja	Tampereen teknillinen korkeakoulu
Sivumäärä	35
Tila	Julkaistu - 1996
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Nimi	Tampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaalitekniikan osasto, Materiaaliopin laitos
Kustantaja	Tampereen teknillinen korkeakoulu
Numero	76B/96

Julkaisufoorumi-taso

@book{ae3d1e34ffa1421abffc80b0bae83a42,

title = "Mikropiirien SEM-tarkastelut",

author = "A. Hynn{\"a} and P. Lintunen",

note = "ei saatavana<br/>Contribution: organisation=mol,FACT1=1",

year = "1996",

language = "English",

series = "Tampereen teknillinen korkeakoulu, Materiaalitekniikan osasto, Materiaaliopin laitos",

publisher = "Tampereen teknillinen korkeakoulu",

number = "76B/96",

}