Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition

Lauri Sainiemi; Jukka Viheriälä; Tiina Sikanen; Janne Laukkanen; Tapio Niemi

doi:10.1088/0960-1317/20/7/077001

Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition

Julkaisun otsikon käännös: Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition

Lauri Sainiemi, Jukka Viheriälä, Tiina Sikanen, Janne Laukkanen, Tapio Niemi

Tutkimustuotos: Artikkeli › Scientific › vertaisarvioitu

18 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	1-8
Sivumäärä	8
Julkaisu	Journal of Micromechanics and Microengineering
Vuosikerta	20
Numero	7, 077001
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/7/077001
Tila	Julkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

Jufo-taso 2

Pääsy asiakirjaan

10.1088/0960-1317/20/7/077001

Siteeraa tätä

@article{555452c3a48146dbbc0caa1d4b73a896,

title = "Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition",

author = "Lauri Sainiemi and Jukka Viheri{\"a}l{\"a} and Tiina Sikanen and Janne Laukkanen and Tapio Niemi",

note = "Contribution: organisation=orc,FACT1=1",

year = "2010",

doi = "10.1088/0960-1317/20/7/077001",

language = "English",

volume = "20",

pages = "1--8",

journal = "Journal of Micromechanics and Microengineering",

issn = "0960-1317",

publisher = "IOP Publishing",

number = "7, 077001",

}

TY - JOUR

T1 - Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition

AU - Sainiemi, Lauri

AU - Viheriälä, Jukka

AU - Sikanen, Tiina

AU - Laukkanen, Janne

AU - Niemi, Tapio

N1 - Contribution: organisation=orc,FACT1=1

PY - 2010

Y1 - 2010

U2 - 10.1088/0960-1317/20/7/077001

DO - 10.1088/0960-1317/20/7/077001

M3 - Article

SN - 0960-1317

VL - 20

SP - 1

EP - 8

JO - Journal of Micromechanics and Microengineering

JF - Journal of Micromechanics and Microengineering

IS - 7, 077001

ER -