Julkaisun otsikon käännös | Narrow linewidth templates for nanoimprint lithography utilizing conformal deposition |
---|---|
Alkuperäiskieli | Englanti |
Sivut | 7 p |
Julkaisu | Nanotechnology |
Vuosikerta | 19 |
Numero | 015302 |
DOI - pysyväislinkit | |
Tila | Julkaistu - 2008 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä |
Julkaisufoorumi-taso
- Ei tasoa