Negative-biased diamond nucleation on silicon at a wide range of methane concentrations in hot filament chemical vapour deposition

D.M. Li; J. Larjo; R. Hernberg; T. Mäntylä

Negative-biased diamond nucleation on silicon at a wide range of methane concentrations in hot filament chemical vapour deposition

Julkaisun otsikon käännös: Negative-biased diamond nucleation on silicon at a wide range of methane concentrations in hot filament chemical vapour deposition

D.M. Li
, J. Larjo
, R. Hernberg
, T. Mäntylä

Tutkimustuotos: Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Negative-biased diamond nucleation on silicon at a wide range of methane concentrations in hot filament chemical vapour deposition
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	1135-1141
Julkaisu	Diamond and Related Materials
Vuosikerta	8
Tila	Julkaistu - 1999
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

Ei tasoa

Siteeraa tätä

@article{b499e13142c44dcd8cbc51f0e44bb6cc,

title = "Negative-biased diamond nucleation on silicon at a wide range of methane concentrations in hot filament chemical vapour deposition",

author = "D.M. Li and J. Larjo and R. Hernberg and T. M{\"a}ntyl{\"a}",

note = "Contribution: organisation=fys,FACT1=1",

year = "1999",

language = "English",

volume = "8",

pages = "1135--1141",

journal = "Diamond and Related Materials",

issn = "0925-9635",

publisher = "Elsevier",

}

TY - JOUR

T1 - Negative-biased diamond nucleation on silicon at a wide range of methane concentrations in hot filament chemical vapour deposition

AU - Li, D.M.

AU - Larjo, J.

AU - Hernberg, R.

AU - Mäntylä, T.

N1 - Contribution: organisation=fys,FACT1=1

PY - 1999

Y1 - 1999

M3 - Article

SN - 0925-9635

VL - 8

SP - 1135

EP - 1141

JO - Diamond and Related Materials

JF - Diamond and Related Materials

ER -