Photoinduced Chemical Vapor Deposition of Amorphous Carbon Films from Chloromethane Using a VUV Laser (157 nm)

Julkaisun otsikon käännös: Photoinduced Chemical Vapor Deposition of Amorphous Carbon Films from Chloromethane Using a VUV Laser (157 nm)

T. I. Hukka, J. Zhang

    Tutkimustuotos: ArtikkeliScientificvertaisarvioitu

    8 Sitaatiot (Scopus)
    Julkaisun otsikon käännösPhotoinduced Chemical Vapor Deposition of Amorphous Carbon Films from Chloromethane Using a VUV Laser (157 nm)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut7115-7123
    JulkaisuJournal of Physical Chemistry Part B
    Vuosikerta104
    TilaJulkaistu - 2000
    OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

    Julkaisufoorumi-taso

    • Jufo-taso 3

    Siteeraa tätä