Scanner path as a manipulatable variable for optimal control and diagnostics of CD variations

Julkaisun otsikon käännös: Scanner path as a manipulatable variable for optimal control and diagnostics of CD variations

J. Ylisaari, K. Konkarikoski, R. Ritala, T. Kokko, M. Mäntylä

    Tutkimustuotos: Conference contributionScientific

    Julkaisun otsikon käännösScanner path as a manipulatable variable for optimal control and diagnostics of CD variations
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Otsikko2008 Control Systems Pan-Pacific Conference. Conference Proceedings, June 16-18, Vancouver, Canada, 2008
    Sivut81-85
    ISBN (elektroninen)978-1-897023-40-2
    TilaJulkaistu - 2008
    OKM-julkaisutyyppiB3 Artikkeli konferenssijulkaisussa

    Julkaisufoorumi-taso

    • Ei tasoa

    Siteeraa tätä