Self-sustained secondary discharge in inductively coupled plasma reactor

Julkaisun otsikon käännös: Self-sustained secondary discharge in inductively coupled plasma reactor

Tutkimustuotos: Artikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Self-sustained secondary discharge in inductively coupled plasma reactor
Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	2508-2510
Julkaisu	Applied Physics Letters
Vuosikerta	76
Numero	18
Tila	Julkaistu - 2000
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

@article{ce1d3b3e333148dd938bd11610797f44,

title = "Self-sustained secondary discharge in inductively coupled plasma reactor",

author = "J. Walewski and J. Larjo and R. Hernberg",

note = "Contribution: organisation=fys,FACT1=1",

year = "2000",

language = "English",

volume = "76",

pages = "2508--2510",

journal = "Applied Physics Letters",

issn = "0003-6951",

publisher = "American Institute of Physics",

number = "18",

}