Sistema de litografia por interferencia de laser

Julkaisun otsikon käännös: Sistema de litografia por interferencia de laser

Tutkimustuotos: Patentti

Julkaisun otsikon käännös	Sistema de litografia por interferencia de laser
Alkuperäiskieli	Englanti
Patenttinumero	Pat. ES 2310132 (B1)
Prioriteetti päiväys	3/09/09
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	H1 Myönnetty patentti

Julkaisufoorumi-taso

@misc{527bc776267843758bddb12337feff2f,

title = "Sistema de litografia por interferencia de laser",

author = "Y. Verevkin and \{Nikolaevich Petrykov\}, V. and I. Olaizola and R. Gonzales and C. Peng and C. Tan and M. Pessa",

note = "Contribution: organisation=orc,FACT1=1; Pat. ES 2310132 (B1)",

year = "2009",

language = "English",

type = "Patent",

}