Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes

Julkaisun otsikon käännös: Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes

J. Viheriälä, M.-R. Viljanen, J. Kontio, T. Leinonen, J. Tommila, M. Dumitrescu, T. Niemi, M. Pessa

Tutkimustuotos: Artikkeli › Scientific › vertaisarvioitu

16 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes
Alkuperäiskieli	Englanti
Artikkeli	033004
Sivut	033004-1-033004-8
Julkaisu	Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS
Vuosikerta	8
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1117/1.3158307
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisufoorumi-taso

@article{b0b98bc7ec70423bb7e45788cf4ce25d,

title = "Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes",

author = "J. Viheri{\"a}l{\"a} and M.-R. Viljanen and J. Kontio and T. Leinonen and J. Tommila and M. Dumitrescu and T. Niemi and M. Pessa",

note = "Contribution: organisation=orc,FACT1=1",

year = "2009",

doi = "10.1117/1.3158307",

language = "English",

volume = "8",

pages = "033004--1--033004--8",

journal = "Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS",

issn = "1932-5150",

}

TY - JOUR

T1 - Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes

AU - Viheriälä, J.

AU - Viljanen, M.-R.

AU - Kontio, J.

AU - Leinonen, T.

AU - Tommila, J.

AU - Dumitrescu, M.

AU - Niemi, T.

AU - Pessa, M.

N1 - Contribution: organisation=orc,FACT1=1

PY - 2009

Y1 - 2009

U2 - 10.1117/1.3158307

DO - 10.1117/1.3158307

M3 - Article

SN - 1932-5150

VL - 8

SP - 033004-1-033004-8

JO - Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

JF - Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

M1 - 033004

ER -