Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes

Julkaisun otsikon käännös: Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes

Tutkimustuotos: Konferenssiartikkeli › Tieteellinen › vertaisarvioitu

13 Sitaatiot (Scopus)

Julkaisun otsikon käännös	Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes
Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	Alternative Lithographic Technologies Conference 2009, San Jose, CA, USA, 22-27 February, 2009
Toimittajat	F.M. Schellenberg
Sivut	pp. 72711O-1-72711O-10
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1117/12.814122
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisufoorumi-taso

Viheriälä, J., Viljanen, M.-R., Kontio, J., Leinonen, T., Tommila, J., Dumitrescu, M., Niemi, T., & Pessa, M. (2009). Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes. teoksessa F. M. Schellenberg (Toimittaja), Alternative Lithographic Technologies Conference 2009, San Jose, CA, USA, 22-27 February, 2009 (Sivut pp. 72711O-1-72711O-10) https://doi.org/10.1117/12.814122

@inproceedings{31f0c8099af74283bbd37a915f8cac2e,

title = "Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes",

author = "J. Viheri{\"a}l{\"a} and M.-R. Viljanen and J. Kontio and T. Leinonen and J. Tommila and M. Dumitrescu and T. Niemi and M. Pessa",

note = "Contribution: organisation=orc,FACT1=1",

year = "2009",

doi = "10.1117/12.814122",

language = "English",

pages = "pp. 72711O--1--72711O--10",

editor = "F.M. Schellenberg",

booktitle = "Alternative Lithographic Technologies Conference 2009, San Jose, CA, USA, 22-27 February, 2009",

}

Viheriälä, J, Viljanen, M-R, Kontio, J, Leinonen, T, Tommila, J, Dumitrescu, M, Niemi, T & Pessa, M 2009, Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes. julkaisussa FM Schellenberg (Toimittaja), Alternative Lithographic Technologies Conference 2009, San Jose, CA, USA, 22-27 February, 2009. Sivut pp. 72711O-1-72711O-10. https://doi.org/10.1117/12.814122

TY - GEN

T1 - Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes

AU - Viheriälä, J.

AU - Viljanen, M.-R.

AU - Kontio, J.

AU - Leinonen, T.

AU - Tommila, J.

AU - Dumitrescu, M.

AU - Niemi, T.

AU - Pessa, M.

N1 - Contribution: organisation=orc,FACT1=1

PY - 2009

Y1 - 2009

U2 - 10.1117/12.814122

DO - 10.1117/12.814122

M3 - Conference contribution

SP - pp. 72711O-1-72711O-10

BT - Alternative Lithographic Technologies Conference 2009, San Jose, CA, USA, 22-27 February, 2009

A2 - Schellenberg, F.M.

ER -