Transformation of ALD grown TiO2 film to topographically microstructured titanium silicide for photonics applications

M. Hannula, K. Lahtonen, H. Ali-Löytty, A.A. Zakharov, T. Isotalo, J. Saari, M. Valden

Tutkimustuotos: Tutkimusraportti

Alkuperäiskieli	Englanti
Julkaisupaikka	Lund
Kustantaja	Lund University, MAX IV Laboratory
Sivumäärä	2
Tila	Julkaistu - 2016
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Pääsy asiakirjaan

@book{aea3cd4af9cc4e828993f69fbe3a8356,

title = "Transformation of ALD grown TiO2 film to topographically microstructured titanium silicide for photonics applications",

keywords = "titanium silicide, Synchrotron, photoemission electron microscopy",

author = "M. Hannula and K. Lahtonen and H. Ali-L{\"o}ytty and A.A. Zakharov and T. Isotalo and J. Saari and M. Valden",

year = "2016",

language = "English",

publisher = "Lund University, MAX IV Laboratory",

}

TY - BOOK

T1 - Transformation of ALD grown TiO2 film to topographically microstructured titanium silicide for photonics applications

AU - Hannula, M.

AU - Lahtonen, K.

AU - Ali-Löytty, H.

AU - Zakharov, A.A.

AU - Isotalo, T.

AU - Saari, J.

AU - Valden, M.

PY - 2016

Y1 - 2016

KW - titanium silicide

KW - Synchrotron

KW - photoemission electron microscopy

UR - https://www.maxlab.lu.se/node/2032#I311-PEEM_

M3 - Commissioned report

BT - Transformation of ALD grown TiO2 film to topographically microstructured titanium silicide for photonics applications

PB - Lund University, MAX IV Laboratory

CY - Lund

ER -